清潔度無塵室有哪些分類？
2023-03-21
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清潔度無塵室是污染控制的基礎(chǔ)。控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。
清潔度無塵室是一個人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級數(shù)的快速成長，也增加了對制造環(huán)境（無塵室）潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米。也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)作或降低其壽命。
清潔度無塵室較主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。由于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。
例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí)，就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路。如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造的重要要素。
清潔度無塵室可分為層流型和亂流型，層流潔凈室是指空氣由一側(cè)以同速流向另一側(cè)，使室內(nèi)產(chǎn)生的塵粒或細(xì)菌不會向四周擴(kuò)散而被平推出室外或者經(jīng)過回風(fēng)口過濾器過濾處理，而達(dá)到好的除菌效果，該方式比較適合用于高潔凈度等級要求的行業(yè)潔凈室。
而亂流潔凈室是指空氣由潔凈室頂部經(jīng)過組合式空調(diào)機(jī)組初中效過濾器過濾，加壓由經(jīng)過保溫的風(fēng)管分散送到各個房間，然后經(jīng)過送風(fēng)口送入潔凈室內(nèi)，以達(dá)到凈化的效果，該送風(fēng)方式比較常見，回風(fēng)一般做在角落或者立柱的底部，整體回風(fēng)；潔凈室的送風(fēng)系統(tǒng)少不了各種空氣過濾器的嚴(yán)格控制。
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